บทที่ 78 ความกรุณาแห่งการสอน ไม่มีวันลืม

"เทคโนโลยีการเปิดรับแสงหลายครั้ง?"

วิศวกรที่ยืนอยู่ข้างขวาของเกาหย่งหมิงเผยสีหน้าไม่เข้าใจเล็กน้อย เขาชื่อถังซินอวี่ เป็นรองหัวหน้าทีมเครื่องพิมพ์แสงของบริษัทหลงซินอินเตอร์เนชั่นแนล

เขาเหมือนเคยได้ยินเรื่องนี้มาก่อน แต่จำไม่ได้ว่าฟังมาจากไหน

"ถูกต้อง"

หลินเทียนพยักหน้าอย่างหนักแน่น "เครื่องจักรเครื่องพิมพ์แสง DUV สามารถผลิตชิปขนาด 14 นาโนเมตรได้ และขีดจำกัดของมันยังไม่หยุดเพียงแค่นั้น ในอุดมคติแล้วสามารถไปถึง 7 นาโนเมตรได้"

เกาหย่งหมิง: "!!!"

ถังซินอวี่: "!!!"

ฉู่เฉิง: "!!!"

เครื่องจักรเครื่องพิมพ์แสง DUV สามารถไปถึงขีดจำกัดที่ 7 นาโนเมตร?

คุณล้อเล่นหรือเปล่า?

เฉินซิงก็ตกใจเช่นกัน ถ้าหากสามารถใช้เครื่องจักรเครื่องพิมพ์แสง DUV ขนาด 20 นาโนเมตรในการผลิตชิปขนาด 7 นาโนเมตรได้จริง ๆ ฝั่งตะวันตกจะไม่ตะลึงงันหรือ?

แม้ว่าในขณะนี้ สหรัฐฯ ยังไม่ได้ประกาศปิดกั้นเทคโนโลยีอย่างเป็นทางการ แต่เบื้องหลังพวกเขาได้จำกัดการซื้อขายเครื่องจักรเครื่องพิมพ์แสงแล้ว(Lithography)

พวกเขาทำได้ง่ายๆ เพียงแค่ขายเครื่องจักรเครื่องพิมพ์แสงให้กับประเทศจีน แต่ไม่ขายเครื่องพิมพ์แสงที่ล้ำหน้าที่สุดให้

เช่นเมื่อสองปีก่อน เมื่อเทคโนโลยี 28 นาโนเมตรยังถือเป็นขั้นสูง เครื่อง Lithography  DUV ที่ผลิตชิปขนาด 28 นาโนเมตรไม่สามารถขายให้กับประเทศจีนได้ ใครที่กล้าขายก็ถือเป็นการต่อต้านสหรัฐฯ

ประเทศเนเธอร์แลนด์กล้าหรือ?

แน่นอนว่าไม่กล้า และพวกเขาไม่มีความสามารถนั้นด้วย

บริษัท ASML จากเนเธอร์แลนด์ก็เป็นเพียงโรงงานประกอบเครื่อง Lithography ถ้าไม่มีเทคโนโลยีแหล่งกำเนิดแสงจากสหรัฐฯ พวกเขาก็ทำอะไรไม่ได้

แต่ในวันนี้ เมื่อฝั่งตะวันตกสามารถทำชิปขนาด 14 นาโนเมตรได้สำเร็จ พวกเขาจึงหันเป้าหมายไปที่ชิปขนาด 7 นาโนเมตร ดังนั้นเครื่อง Lithography DUV ขนาด 20 นาโนเมตรก็ถูกปล่อยให้ใช้งานได้

เป้าหมายของสหรัฐฯ ชัดเจนมาก อนุญาตให้ใช้ได้ แต่ไม่อนุญาตให้คุณก้าวข้าม

ยิ่งกลัวยิ่งต้องระวัง เพราะประเทศจีนเพิ่งหลุดพ้นจากสงครามไม่ถึงสามสิบปี ก็ได้ก้าวขึ้นมาเป็นเศรษฐกิจใหญ่อันดับสองของโลก แล้วถ้าให้พวกเขาได้พัฒนาอีกสามสิบปีจะเป็นอย่างไร?

สิงโตผู้หลับไหล มังกรแห่งตะวันออก พวกเขากล้าที่จะไม่ระวังได้อย่างไร?

เฉินซิงถึงแม้จะเป็นพ่อค้า แต่ก็เป็นพ่อค้าจากประเทศจีน หากเขาสามารถผลิตชิปขนาด 14 นาโนเมตรในประเทศได้ เขาก็ยินดีที่จะจ่ายค่าเครื่องพิมพ์แสงเพิ่มขึ้นสักหน่อย

ถึงอย่างไร ฉู่เฉิงก็เคยกล่าวว่า โครงการช่วยเหลือชิปของรัฐบาลที่บริษัทDragonstar Technologyเคยสมัครไปนั้นได้ผ่านการตรวจสอบแล้ว เงินทุนและที่ดินอยู่ในขั้นตอนสุดท้ายของการอนุมัติ

"ลองบอกหน่อยว่าใช้เทคโนโลยีการเปิดรับแสงหลายครั้งนี้แล้ว ค่าเครื่องพิมพ์แสงจะเท่าไหร่?"

เฉินซิงแสดงเจตนาของตนเอง

เมื่อหลินเทียนได้รับคำตอบที่แน่ชัด เขาได้อธิบายความคิดของตนว่า:

"เทคโนโลยีการเปิดรับแสงหลายครั้ง กล่าวง่าย ๆ ก็คือ การผลิตที่ในอดีตต้องใช้แผ่นหน้ากากชิปเพียงแผ่นเดียว แต่เนื่องจากข้อจำกัดด้านความแม่นยำและความละเอียดของเครื่องเครื่องพิมพ์แสง ทำให้ต้องแยกเป็นหลายแผ่น แต่ละแผ่นมีรูปแบบวงจรที่สอดคล้องกัน"

"เช่น ถ้าเราต้องการทำชิปขนาด 14 นาโนเมตร เราสามารถแยกแบบวงจรชิปออกมาเป็นสองส่วนที่มีระยะห่าง 28 นาโนเมตร แล้วทำการฉายเครื่องพิมพ์แสงลงบนแผ่นซิลิกอนสองครั้ง ก็จะได้วงจรชิปขนาด 14 นาโนเมตรที่สมบูรณ์ ซึ่งคล้ายกับแผนภาพไท่จี๋ของประเทศมังกรเรา ที่มีหยินและหยางเสริมกันและกัน"

"เนื่องจากใช้แผ่นหน้ากากชิปสองแผ่น ดังนั้นต้องจ่ายค่าเครื่องพิมพ์แสงเป็นสองเท่า"

เฉินซิงพอเข้าใจว่าเทคโนโลยีการเปิดรับแสงหลายครั้งนี้เหมือนกับการพิมพ์ภาพลายตัวอักษร AB

ขั้นแรกคือแยกตัวอักษร AB ออกมาเป็นสองส่วน คือ A และ B แล้วทำหน้ากากแสงแยกสำหรับแต่ละตัว จากนั้นใช้หน้ากากแสง A เครื่องพิมพ์แสงตัวอักษร A ลงบนแผ่นซิลิกอน และใช้หน้ากากแสง B เครื่องพิมพ์แสงตัวอักษร B ลงบนแผ่นซิลิกอน สุดท้ายก็ได้ภาพลายตัวอักษร AB ที่ต้องการ

สรุปง่าย ๆ ก็คือ เมื่อความแม่นยำไม่พอ ต้องเพิ่มกระบวนการแทน

"ต้องจ่ายค่าเครื่องพิมพ์แสงเป็นสองเท่า คุณเกา ค่าเครื่องพิมพ์แสงสำหรับชิปขนาด 14 นาโนเมตร..."

เฉินซิงเพิ่งจะเริ่มถามว่าค่าเครื่องพิมพ์แสงเท่าไหร่ แต่ก็พบว่าเกาหย่งหมิงทั้งตัวสั่นสะท้านอย่างควบคุมไม่อยู่ ดวงตาเบิกโพลงพร้อมกับมีสีหน้าตระหนักรู้และตื่นเต้นอย่างมาก

วิศวกรเครื่องพิมพ์แสงอีกสองคนที่ยืนอยู่ข้างๆ ก็พึมพำเสียงเบาๆ

"การเปิดรับแสงหลายครั้ง..."

"เมื่อความแม่นยำครั้งเดียวไม่พอ ทำไมไม่เปิดรับแสงสองครั้ง?"

"เป็นความคิดที่อัจฉริยะมาก..."

ทั้งสามคนดูเหมือนจะเข้าสู่สภาวะการตรัสรู้ เกาหย่งหมิงซึ่งทำงานด้านนี้อยู่แล้ว และยังเป็นอาจารย์ในสาขาการผลิตลายวงจรบนแผ่นซิลิกอนด้วยเทคโนโลยีเครื่องพิมพ์แสง (Lithography) เขาย่อมไม่พลาดที่จะเข้าใจสิ่งที่หลินเทียนกำลังพูดอยู่ ขณะนี้ในหัวเขามีเพียงคำเดียวเท่านั้น: "เทคโนโลยีการเปิดรับแสงหลายครั้ง ฤดูใบไม้ผลิของเครื่องจักรเครื่องพิมพ์แสง DUV จะมาถึงแล้วใช่หรือไม่?"

ภาพลายหยินหยางที่เสริมกันและกัน ในทางทฤษฎีสามารถทำได้อย่างแน่นอน และยังสามารถแยกเป็นสี่ส่วนได้อีกด้วย แม้ว่ากระบวนการจะซับซ้อนขึ้น แต่ถ้าทำได้จริง ชิปขนาด 7 นาโนเมตรก็สามารถผลิตได้!

ฉู่เฉิงก็อดไม่ได้ที่จะตะลึงกับความคิดนี้ แม้ว่าเขาจะเป็นนักวิชาการในสาขาเซมิคอนดักเตอร์ แม้จะไม่ใช่ด้านเครื่องพิมพ์แสงโดยตรง แต่เขาก็เข้าใจกระบวนการทุกขั้นตอนอย่างละเอียด

ขณะเดียวกันก็รู้สึกประหลาดใจกับโชคดีของเฉินซิงที่สามารถพบเจอกับอัจฉริยะมากมาย

เกาเจิ้งเฉียน, ไป่เหยียน, หลินเทียน ทั้งสามคนนี้เขาสามารถใช้คำว่า "ประหลาด" ในการบรรยายได้ และเฉินซิงก็สามารถทำความรู้จักและรวบรวมพวกเขาเข้ามาในทีมได้ จึงไม่แปลกที่มีคนบอกว่า โชคก็เป็นส่วนหนึ่งของความสามารถ

ไม่รู้ว่าผ่านไปนานเท่าไหร่ อาจจะราวสิบกว่านาทีได้

"เฮ้อ——"

ถังซินอวี่ยืดตัวและมองไปที่เกาหย่งหมิงแล้วพูดว่า "การผลิตแผ่นหน้ากากชิปหยินหยาง บางทีอาจสามารถทะลุขีดจำกัดของเครื่องจักรเครื่องพิมพ์แสงได้ ทำชิปขนาด 14 นาโนเมตรได้"